特色說明 / Features
- 針對平面工件可同時雙面研磨加工
- 智慧型人機介面控制，操作簡單方便
- 外環齒輪可無段式上升與下降，便利取放工件
- 拱門式加壓機構設計，加壓穩定
- 高精度荷重元壓力控制機構，可應對研磨與拋光製程中精準多段式壓力設定
- 能精準控制研磨工件尺寸
應用範圍 / Applications
玻璃、矽晶圓、藍寶石、陶瓷等硬脆材質
自動化取放片系統選配 Optional
- 高精度自動對位與穩定控制放片
- 降低人為操作造成的製程變異風險，提升製程再現性與良率
- 提升良率降低破片
性能參數 / Performance Parameters
| 工作件直徑 | Φ100 ~ Φ300 mm |
| 總加工數量 | 20 SETS |
| 外齒盤轉速 | 0 ~ 22 RPM |
| 內齒盤轉速 | 0 ~ 40 RPM |
| 外齒驅動功率 | 3.5 kW |
| 內齒驅動功率 | 1.5 kW |
| 上盤轉速 | 0 ~ 40 RPM |
| 下盤轉速 | 0 ~ 65 RPM |
| 上盤驅動功率 | 7.5 kW |
| 下盤驅動功率 | 11.25 kW |
| 壓力 | 0 ~ 300 Kg |
| 電壓 | AC 200 ~ 380 三相電, 50/60 Hz |
產品特點 / Product Features
| Recipe | 可 By Recipe 設定 |
| 時間設定 | 可設定時間加減速 |
| Slurry 供給系統 | Auto 排水循環系統 |
| 壓力控制 | 兩段式加壓 |
| 人機介面 | PLC 觸控式螢幕操作 |
| 給油系統 | 自動給油系統 |
| 全自動系統選配 | 全自動 L/D; UL/D 出入料系統 |
